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DC MAGNETRON SPUTTERING 법에 의한 IT 로 제작한 ITO 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명박막트랜지스터 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Magnetron Sputtering Technology의 연구 및 개발 방향에 대한 동향
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
RF magnetron sputtering법으로 성장시킨 ZnO박막의 광특성과 grain size의 영향에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
RF-Magnetron Sputtering System을 이용한 Bi-layer PZT박막제작과 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn2+의 RF Magnetron Sputtering법을 이용한 생장
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
DC magnetron sputtering에 의한 TiN박막의 형성조건에 따른 물성과 전기적 특성에 관한연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
Chemical Ssolution Depisition 방법을 이용한 BiFeO₃/Pb(Zr0.52Ti0.48)O₃ 다층박막의 전기적 특성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
Closed-field unbalanced sputtering 방법으로 합성시킨 티타늄이 첨가된 다이아몬드상 카본 박막의 기계적 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
N₂ 분위기에서 RF Magnetron Sputtering을 이용하여 제작된 TiAlNX박막의 열처리 온도에 따른 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Kinetic Simulation of Magnetron Sputter
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
Modulated Sputtering System (MSS)을 이용한 박막 증착 및 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
DC / RF Magnetron Sputtering Deposition법에 의한 TiSi₂ 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
RF magnetron sputtering으로 제작된 ITO 박막의 공정압력 변화에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
RF - Magnetron Sputtering 법을 이용한 Indium - Tin Oxide 박막의 전기적, 광학적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
RF Magnetron Sputtering법에 의한 결정성 MgO 박막의 형성과 Plasma Damage 현상
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
RF - magnetron sputtering 방법으로 형성된 RuO₂ 박막의 전기적 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
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