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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2004도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2004.4
수록면
923 - 928 (6page)

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AFM tip has been used for surface profiling with a fine resolution, but there is a barrier to improve its performance because of the low aspect ratio. Many researchers have solved this problem with attaching carbon nanotube (CNT) to Si-tip. In this paper, we proposed the aligner system that composed of dual type stage system, and these stages could attach a carbon nanotube to tungsten-tip in vacuum condition. We used tungsten tip instead of Si-tip because of its conductivity. The aligner system proposed in this paper has 10 degree-of-freedom that 3 in the first stage and 7 in the second stage. With picomotors and piezotube, the first stage has the resolution about several tens of ㎚ and the second stage has a resolution about a ㎚. We experimented on characterization of Nano Aligner System and operated picomotors in SEM environment.
#Aligner system #dual type stage system #carbon nanotube #picomotor #piezotube

목차

Abstract
1. 서론
2. 나노 정렬 시스템을 위한 필요사항과 구동기
3. 나노 정렬 시스템 설계
4. 나노 정렬 시스템 제작
5. 시스템 성능 평가
6. CNT-Tip 제작 시뮬레이션
7. SEM 내에서 피코모터 작동
8. 결론
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