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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2008 추계학술대회 논문집
발행연도
2008.10
수록면
34 - 38 (5page)

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This work will develop a 6-DOF precision aligner with small size and high resolution for assembling the micro parts for a mobile electronics. Here, Tiny PicomotorTM actuator that is small and reliable will be applied to this aligner system. The principle of this actuator is PZT that turns a precision thread and then the screw moves linearly. Arrangement of actuators will be a symmetrical based on kinematic design. This paper presents combining two modules of mechanism for the 6-DOF precision aligner. The first is a stage which can control XYθz motion, and the second can control Z motion, in other words, Z tilt motion. According to its specifications, it is expected to satisfy requirement of precision.
#6 OOF Aligner(6자유도정렬기) #Picomotor(피코모터) #kinematics(기구학) #Micro-assembly(마이크로 어셈블리)

목차

Abstract
1. 서론
2. XYθz 스테이지 설계
3. Z-tilt 스테이지의 설계
4. 6-자유도 스테이지의 조립
5. 향후 계획
6. 결론
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