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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.5
수록면
2,354 - 2,359 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2005

펄스 레이저가 입사된 실리콘 박막내의 광학 및 열전달 특성
이성혁 ,  강관구 ,  이준식 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2005.05 학술대회자료

2002

펨토초급 극초단 펄스레이저에 의해 가열된 실리콘 내의 열전달 특성에 관한 수치해석
이성혁 ,  이준식 ,  박승호 외 1명 대한기계학회 논문집 B권 2002.10 학술저널
펨토초급 극초단 펄스 레이저에 의해 가열된 실리콘 내의 열전달 특성에 관한 수치해석
이성혁 ,  이준식 ,  박승호 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2002.05 학술대회자료

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This study investigates conductive/radiative heat transfer characteristics in thin silicon layers irradiated by pulsed lasers. The electromagnetic theory is used to predict energy absorption in nanoscale thin films, and the wave interference effects and the changes in complex refractive index are considered during laser heating. In particular, reduced thermal conductivity in nanoscale thin film and thermal boundary resistance at interfaces are estimated by the equation of phonon radiative transfer. The optical characteristics are moreover examined by thin film optics. It is found that thin film optics and reduced thermal conductivity should be used in predicting temperature distribution in the semiconductor material as well as in developing optical diagnostic methods at the nanosecond scale.
#Thin Film(박막) #Effective Thermal Conductivity(유효 열전도율) #Wave Interference(파동 간섭) #Thermal Boundary Resistance(열경계저항)

목차

Abstract
1. 서론
2. 이론적 모델
3. 수치해석
4. 결과 및 고찰
5. 결론
후기
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