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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2006.6
수록면
2,516 - 2,521 (6page)

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The present study is devoted to investigate numerically the optical characteristics of multi-layer thin film structures such as Si/SiO₂ and Ge/Si/SiO₂ by using the characteristic transmission matrix method. The reflectivity and the absorptivity rate for thin film structures are estimated for different incident angles of rays and various film thicknesses. In addition, the influence of wavelength on optical characteristics related to complex refractive index is examined. It is found that such wave-like characteristics are observed in predicting reflectivities and depends mainly on film thickness. Moreover, the present study predicts the film thickness for ignoring wave interference effects, and it also discusses the fundamental physics behind optical and energy absorption characteristics appearing in multi-layer thin film structures.
#Thin Film(박막) #Reflectivity(반사율) #Absorption Rate(흡수율) #Film Thickness(박막두께) #Optical Characteristic(광학적 특성) #Wave Interference(파장 간섭)

목차

Abstract
1. 서론
2. 이론
3. 타당성 검증을 위한 예비해석
4. 수치해석법 및 해석 조건
5. 결과 및 고찰
6. 결론
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