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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2004 춘계학술대회 논문집
발행연도
2004.4
수록면
538 - 541 (4page)

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We describe a method for the detection of nanometer scale displacements of nanoelectromechanical resonators. We also present an analysis of the mechanical motion of these devices. We evaluate the effectiveness of the detection technique by detecting displacements from a series of nanomechanical doubly clamped beam resonators with decreasing dimensions.
#nanoelectromechanical systems #optical interferometry #displacement detection #resonator #fabrication

목차

ABSTRACT
1. INTRODUCTION
2. EXPERIMENT
3. ANALYSIS OF THE RESONANCE FREQUENCY SHIFT IN ELECTROSTATIC ACTUATION
4. EXPERIMENTAL RESULTS
5. CONCLUSIONS
REFERENCES

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