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이용수
Abstract
1. 서론
2. 정전기력을 이용한 마이크로가속도계
3. 고찰 및 검토
4. 결론
참고문헌
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Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2001 .05
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2000 .05
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2001 .02
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Analyses of the Temperature Distribution at Micromachining Processes for Microaccelerometer Based on Tunneling Current Effect
한국공작기계학회지
2000 .12
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KSME International Journal
1998 .12
모드중첩법과 최소자승법을 이용한 고충격 압저항 미소가속도계의 효율적인 출력젂압 과도해석
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2015 .05
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1999 .11
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1999 .01
정전기력을 이용한 마이크로 가속도센서 축전기부의 주울발열에 의한 온도분포 해석 ( Temperature Distribution Analyses for Joule Heat of Microaccelerometer Sensor Using Electrostatic Force )
대한기계학회 논문집 A권
1998 .07
온도센서의 비교
대한전자공학회 학술대회
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축소모델을 이용한 고충격 압저항 미소가속도계의 효율적인 출력전압 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .05
Feedback Control for Expanding Range and Improving Linearity of Microaccelerometers
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2004 .08
턴널링 전류효과를 이용한 마이크로가속도 센서의 축전기부 해석
동력시스템공학회지
1999 .11
A Capacitive Silicon Microaccelerometer with Force Balancing Electrodes
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
에어백용 압저항형 외팔보 미소 가속도계의 설계 , 제작 및 시험 ( Design , Fabrication and Testing of a Piezoresistive Cantilever-Beam Microaccelerometer for Automotive Airbag Applications )
대한기계학회 논문집 A권
1996 .02
정전기력을 이용한 마이크로가속도계 센서의 마이크로머시닝 공정해석
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2000 .04
압전재료를 이용한 SAW 온도센서의 제작 및 특성에 대한 연구
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2004 .05
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