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저자정보
고종수 (한국과학기술원) 조영호 (한국과학기술원) 곽병만 (한국과학기술원) 이호준 (현대전자) 박관흠 (현대자동차)
저널정보
한국자동차공학회 한국자동차공학회논문집 한국자동차공학회논문집 제7권 제1호
발행연도
1999.1
수록면
155 - 160 (6page)

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This paper presents the design, batch-fabrication and testing of a piezoresistive cantilever beam microaccelerometer for automobile airbag applications. Silicon proof-mass has been bonded symmetrically for self-diagnostic capability and zero transverse sensitivity of the microaccelerometer. Microfabrication process, including a simple silicon etch-stop method for beam thickness control, has been developed for mass production lines. Fabricated devices show a resonant frequency of 2.15kHz and a sensitivity of 34μV/g/V with a nonlinearity of 2% at 100Hz. The present fabrication processes provide simple, practical and effective means for the reproducibility and mass production of the accelerometers.

목차

ABSTRACT

1.서론

2.설계 및 해석

3.제작공정

4.측정 및 토의

5.결론

참고문헌

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