Feedback Control for Expanding Range and Improving Linearity of Microaccelerometers

Yonghwa Pa ,  k ,  Joonsub Shim 외 9명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2004 .08

A Capacitive Silicon Microaccelerometer with Force Balancing Electrodes

Byeoung Ju Ha ,  Yong Soo Oh ,  Byeung Leul Lee 외 3명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

미소가속도계 센서의 재조공정에서 잔류응력 해석 ( Analysis of Residual Stresses at Manufacturing Processes for Microaccelerometer Sensors )

김옥삼

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2001 .05

어레이 햅틱엑추에이터 성능평가를 위한 박막형 가속도 센서 제조

김현찬 ,  김재환 ,  민승기 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

미소가속도계 센서의 마이크로머시닝 공정에서 열적거동 해석

김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

2000 .05

미소가속도계 센서의 페블리케이션 공정에서 온도해석

황규영 ,  김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

1999 .11

Wafer-level Hermetic Packaged Dual-axis Digital Microaccelerometer

Sangmin Lee ,  Sungwook Kim ,  Sang Chul Lee 외 5명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2006 .10

마이크로가속도계 센서의 최적형상 모색

장판수 ,  김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

1999 .11

압저항형 고충격 미소가속도계의 최적설계 및 식스시그마 분석

서희원 ,  한정삼

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

접합에 의한 대칭 질량형 실리콘 미소가속도계의 설계,제작 및 시험

고종수 ,  조영호 ,  곽병만 외 2명

한국자동차공학회논문집

1999 .01

Analyses of Temperature Behaviours at Fabrication Processes for Microaccelerometer Sensors

O. S. Kim

동력시스템공학회지

2001 .02

미소 가속도계 센서의 주울발열 해석 ( Analysis of Joule Heating for Microaccelerometer Sensor )

김옥삼 ,  조의일 ,  박우철 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1998 .01

Feedback Control for Expanding Range and Improving Linearity of Microaccelerometers

박용화 ,  박상준 ,  최병두 외 6명

제어로봇시스템학회 논문지

2004 .11

실리콘 에피층을 이용한 자동차 에어백용 가속도계

고종수 ,  김규현 ,  이창열 외 4명

한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집

1995 .06

모드중첩법과 최소자승법을 이용한 고충격 압저항 미소가속도계의 효율적인 출력젂압 과도해석

권기범 ,  권순재 ,  한정삼

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11

실리콘 에피층을 이용한 자동차 에어백용 가속도계

고종수 ,  김규현 ,  이창렬 외 3명

한국자동차공학회논문집

1996 .09

A High-performance X/Y-axis Microaccelerometer Fabricated on SOI Wafer without Footing Using the Sacrificial Bulk Micromachining (SBM) Process

Hyoungho Ko ,  Jongpal Kim ,  Sangjun Pa 외 7명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2003 .10

SOI웨이퍼를 이용한 마이크로가속도계 센서의 열응력해석(Ⅰ)

김옥삼

동력시스템공학회지

2001 .05

Analyses of the Temperature Distribution at Micromachining Processes for Microaccelerometer Based on Tunneling Current Effect

김옥삼

한국공작기계학회지

2000 .12

축소모델을 이용한 고충격 압저항 미소가속도계의 효율적인 출력전압 해석

권기범 ,  한정삼

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .05