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제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 논문지 제어로봇시스템학회 논문지 제10권 제11호
발행연도
2004.11
수록면
1,082 - 1,088 (7page)

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목차

Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Working principle
Ⅲ. Dynamic modeling
Ⅳ. Controller Design
Ⅴ. Simulation results
Ⅵ. Experimental results
Ⅶ. Conclusions
REFERENCES

참고문헌 (6)

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[학술지(정기간행물)] - C. Song / 1997. / Commercial vision of silicon based inertial sensors 2 : 839 ~ 842 google schola [학술지(정기간행물)] - S. Lee / 1999. / The surface/bulk micromachining(SBM) process: a new method for fabricating released microelectromechanical systems in single crystal silicon 8 (4) : 409 ~ 416 dbpia [학술지(정기간행물)] - S. Lee / 2000. / Surface/bulk micromachined single-crystalline silicon micro-gyro-scope 9 (4) : 557 ~ 567 dbpia [학술지(정기간행물)] - D. Cho / 2000. / Surface/bulk micromachined high performance silicon micro-gyroscope dbpia [학술지(정기간행물)] - Y. H. Cho / 1993 / Viscous energy dissipation in laterally oscillating planar microstructures Proc. IEEE Workshop on Microelectro-mech. Sys. : 93 ~ 99 google schola

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