고 감지 전압을 이용한 개인 정보기기용 고정도 정전용량형 단결정 실리콘 가속도계 ( A High Resolution Capacitive Single-Silicon Microaccelerometer using High Amplitude Sense Voltage for Application to Personal Information System )

한기호; 조영호

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저자정보: 한기호 조영호

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 춘추학술대회 2001년 제1권 제3호

발행연도: 2001.1

수록면: 53 - 58 (6page)

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한기호

소속기관 인제대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 기타 공학

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조영호

소속기관 한국항공우주연구원

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

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