저에너지의 Ar 중성빔을 이용한 Silicon의 Atomic Layer Etching

오창권 ,  박상덕 ,  염근영

한국재료학회지

2006 .01

Influence of surface roughness of ZnO layer on the growth of polycrystalline Si layer via aluminum-induced layer exchange process

Sung-Kuk Choi ,  Won-Beom Chang ,  Soo-Hoon Jung 외 7명

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2016 .10

The Fabrication of Megasonic Agitated Module (MAM) for the Improved Characteristics of Wet Etching

Tae Gyu Pa ,  k ,  Sang Sik Yang 외 1명

Journal of Electrical Engineering & Technology

2008 .06

Atomic Force Microscopy와 신경망을 이용한 플라즈마 진단

박민근 ,  김병환

정보 및 제어 논문집

2006 .04

Selective Chemical Wet Etching of Si_0.8Ge_0.2/Si Multilayer

Yeon-Ho Kil ,  Jong-Han Yang ,  Sukil Kang 외 3명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2013 .12

다층 인쇄 시 하부 층의 표면 조도가 상부 층의 표면 조도에 미치는 영향

안병준 ,  송현민 ,  고성림

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .04

타원계측장치를 이용한 실시간 원자층 식각률 모니터링에서 기판 온도의 영향

이영석 ,  이장재 ,  이상호 외 4명

반도체디스플레이기술학회지

2019 .01

레이디얼 베이시스 함수망을 이용한 플라즈마 식각공정 모델링

박경영 ,  김병환

전기전자재료학회논문지

2005 .01

표면거칠기 변화에 따른 천이경계층 특성 변화에 대한 연구

정희찬 ,  이승우 ,  송성진

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

Effects of N₂addition on chemical etching of silicon nitride layers in F₂/Ar/N₂remote plasma processing

S. M. Pa ,  k ,  H. W. Kim 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

Study of Self-Limiting Etching Behavior in Wet Isotropic Etching of Silicon

C. H. Han ,  E. S. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

난류경계층 내의 다양한 표면조도블록의 표면압력 특성 연구

박권호 ,  임희창

풍력에너지저널

2020 .01

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon 의 Deep Groove Etching ( Deep Groove Etching of Silicon by Reactive Ion Etching )

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon의 Deep Groove Etching

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .06

White etching layer의 두께변화에 따른 접촉피로수명평가

서정원 ,  권성태 ,  이동형 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2009 .10

Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .01

Atomic-layer transfer process for 2D material based electronics

Houk Jang ,  Jong-Hyun Ahn

ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications

2015 .06