0.13㎛ RF CMOS 공정용 스케일러블 인덕터 모델링

김성균; 안성준; 김병성

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김성균 안성준 김병성

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-TC 電子工學會論文誌 TC編第46卷第1號

발행연도: 2009.1

수록면: 94 - 101 (8page)

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본 논문에서는 RF 집적회로 설계를 위한 0.13㎛ RF CMOS용 인덕터 라이브러리를 개발하였다. 스케일러블 모델링을 위해 선폭, 회전수, 내경을 조절하여 다수의 인덕터 패턴을 제작하고, 정확한 패드 효과 보상을 위해 급전 구조를 최적화하였다. 제작된 패턴의 S-파라미터 측정 데이터를 이용하여 각 소자별로 이중-π 등가회로 소자값을 추출한 뒤 이 값들을 인덕터의 물리적 설계 변수의 함수로 표현하는 스케일러블 모델링을 수행하였다. 개발된 라이브러리는 표준(standard) 구조와 대칭(symmetric) 구조를 가지는 두 종류의 스케일러블 인덕터 모델을 제공하며, 모델 유효 주파수는 30GHz 또는 자기공진주파수까지이다. 표준구조 인덕터의 경우 0.12～10.7nH의 인덕턴스를, 대칭구조 인덕터의 경우는 0.08～13.6nH의 인덕턴스를 갖는다. 본 연구를 통해 최종적으로 10%이하의 오차를 가지는 RF CMOS용 인덕터 라이브러리를 완성하였다.

#Spiral Inductor #Scalable modeling #CMOS #RFIC

참고문헌 (6)

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1. [학술지(정기간행물)] - F. Huang / 2006 / Frequency-Independent Asymmetric Double-Equivalent Circuit for On-Chip Spiral Inductors : Physics-Based Modeling and Parameter Extraction / IEEE J. Solid-State Circuits 41 (10) : 2272 ~ 2283

2. [학술지(정기간행물)] - A. C. Watson / 2004 / A Comprehensive Compact-Modeling Methodology for Spiral Inductors in Silicon-Based RFICs / IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 52 (3) : 849 ~ 857

3. [학술지(정기간행물)] - Y. Cao / 2003 / Frequency- Independent Equivalent-Circuit Model for On-Chip Spiral Inductors / IEEE J. Solid-State Circuits 38 (3) : 419 ~ 426

4. [학술지(정기간행물)] - S. S. Mohan / 1999 / Simple Accurate Expressions for Planar Spiral Inductances / IEEE J. Solid-State Circuits 34 (10) : 1419 ~ 1424

5. [학술대회논문] - A. Weisshaar / 2006 / Modeling of Interconnects and Spiral Inductors in Silicon RFICs / IMS Workshop

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