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전력전자학회 전력전자학회논문지 전력전자학회 논문지 제14권 제1호
발행연도
2009.2
수록면
62 - 71 (10page)

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본 논문에서는 마이크로 변위제어 시스템의 적층형 압전 액츄에이터를 위한 스위칭 증폭 구동회로의 구동방법을 제시하고 성능을 평가하였다. 이 증폭기는 압전 액츄에이터로부터 임의의 용량성 부하에 저장된 에너지를 효율적으로 회수할 수 있는 장점이 있다. 기존의 전압 되먹임 제어 방식은 100m㎐의 정현파 기준치 추종시, 총 왜곡율이 ?32㏈ (?2.5%)로서, 액츄에이터의 전압과 변위 사이의 비선형적 관계로 인한 오차발생을 확인할 수 있었다. 이를 개선하기 위하여 전하 제어방식을 살펴보았는데, 기존의 직렬 커패시터를 연결하는 대신, 변위 기준치를 미분하고, 이를 출력전류와 비교하는 방식으로 개선하였다. 전하량 되먹임 제어 적용시 변위의 왜곡률은 약 ?52㏈ (?0.25%)로서 선형성이 매우 우수한 특성을 보임을 알 수 있다. 마지막으로 살펴본 직접 변위 제어 방식은 구현상의 복잡성으로 성능의 한계가 존재함을 알 수 있다.

목차

요약
ABSTRACT
1. 서론
2. 압전 액츄에이터 구동 및 전압 되먹임 제어
3. 전하량 제어방식
4. 결론
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