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이용수
요약
ABSTRACT
1. 서론
2. 상압 플라즈마 세정 메카니즘
3. 기존의 플라즈마 발생용 전원장치
4. 제안된 정현파 펄스 출력형 전원장치
5. 실험 및 결과 검토
6. 결론
참고문헌
저자소개
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