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3-dimensional numerical analysis for a rectangular magnetron cathode model is done to predict cooling characteristics of high power sputtering system for ZnO deposition. It includes cooling channel design, heat transfer analysis of a target, bonding layer and backing plate. In order to model erosion profiles of a target, ion current density distribution from 3D Monte Carlo simulation is used to distribute total sputtering power to 5 discrete regions. At 3 ㎾ of sputtering power and cooling water flow of 1 liter/min at 10℃, the maximum surface temperature was 45.8℃ for a f lat new target and 156℃ for a t arget eroded by 1/3 of i ts thickness, respectively.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법 및 수치 모델의 구성
3. 모델링 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (6)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - J. Hupkes / 2006 / / Solar Energy Mat. Cells 90 : 3054 ~
2. [학술지(정기간행물)] - F. Ruske / 2006 / Thin Solid Films 502 : 44 ~
3. [학술지(정기간행물)] - Y. M. Chung / 2005 / / Surf. Coat. Technol 200 : 936 ~
4. [단행본] - Ed. David R. Lide / 1996 / CRC Handbook of Chemistry and Physics / Chemical Rubber Publishing company : 12 ~ 190
5. [학술지(정기간행물)] - 주정훈 / 2008 / 3차원 입자 모델을 이용한 마그네트론 스퍼터링 음극의 특성 분석 / 한국표면공학회지 41 (5) : 205 ~ 213
2. [학술지(정기간행물)] - F. Ruske / 2006 / Thin Solid Films 502 : 44 ~
3. [학술지(정기간행물)] - Y. M. Chung / 2005 / / Surf. Coat. Technol 200 : 936 ~
4. [단행본] - Ed. David R. Lide / 1996 / CRC Handbook of Chemistry and Physics / Chemical Rubber Publishing company : 12 ~ 190
5. [학술지(정기간행물)] - 주정훈 / 2008 / 3차원 입자 모델을 이용한 마그네트론 스퍼터링 음극의 특성 분석 / 한국표면공학회지 41 (5) : 205 ~ 213
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