동공 음극 방전을 이용한 고효율 마그네트론 스퍼터링 공정 개발

이승훈; 김도근; 김종국

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이승훈 (한국기계연구원) 김도근 (한국기계연구원) 김종국 (한국기계연구원)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2010년도 추계학술대회 및 한일 국제 심포지엄

발행연도: 2010.11

수록면: 36 - 36 (1page)

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