3차원 입자 모델을 이용한 마그네트론 스퍼터링 음극의 특성 분석

주정훈

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자료유형: 학술저널

저자정보: 주정훈

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제41권 제5호

발행연도: 2008.10

수록면: 205 - 213 (9page)

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A 3D particle code is developed to analyze electron behavior in a planar magnetron sputtering cathode either in balanced or unbalanced configuration. Three types of collisions are included; electron - neutral elastic, excitation to a metastable state and ionization. Flight path is calculated by a 4-th order Runge-Kutta method with a time step of 10 ps. Effects of electron starting position, magnetic field intensity and configuration were analyzed. For a more efficient and accurate modeling, multithreading technique is considered for multicore CPU computers. Under an assumption of cold ion approach, target erosion profiles are predicted for a flat target surface.

#plasma #magnetron sputtering #particle simulation

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1. [학술지(정기간행물)] - Q. Fan / 2003 / / J. Phys. D: Appl. Phys 36 : 244 ~

2. [학술지(정기간행물)] - T. E. Sheridan / 1990 / / J. Vac. Sci. Technol A8 : 30 ~

3. [학술지(정기간행물)] - A. Wendt / 1988 / / J. Vac. Sci .Technol A6 : 1827 ~

4. [학술지(정기간행물)] - S. Kondo / 1999 / / J. Phys. D: Appl. Phys 32 : 1142 ~

5. [학술대회논문] - J. Phillips / 2007 / High performance computing with CUDA:Molecular Dynamics / University of Illinois at Urbana-Champagne

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주정훈

소속기관 군산대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 176 이용수 7,346

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