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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 1989年度 夏季綜合學術大會 論文集
발행연도
1989.7
수록면
139 - 141 (3page)

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목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 장치
3. 음극벽면의 온도분포
4. Ⅰ-Ⅴ curve에 있어서 chamber pressure와 Ar flow rate의 영향
5. Interelectrode의 전계 Ei
6. External plasma
7. 결론
8. 참고 문헌

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