이온 플레이팅용 장수명 플라즈마 건 장치의 개발

崔永旭

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자료유형: 학술저널

저자정보: 崔永旭 (한국전기연구원)

저널정보: 대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제57권 제1호

발행연도: 2008.1

수록면: 78 - 81 (4page)

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A hollow cathode which has extremely stable discharge characteristic has been developed. This is composed of the two separated lanthanum hexaboride (LaB6) of a disk type in the tube as the electron emitters. The way of design is of great advantage to extend the surface discharge area of the LaB6, which is also useful for optimal fixing of the LaB6. The hollow cathode is capable of producing 30 ㎾ (100 V, 300 A) of power continuously. Because the generated plasma beam with the high temperature (above 3000 ℃) from the hollow cathode passes through the center hole of the two intermediate electrodes, it is designed with the high temperature material of the tungsten and the suitable structure of the water cooling. The combinations of the hollow cathode and the two intermediate electrodes are practically useful for the ion plating plasma beam source.

#Ion Plating #Hollow Cathode #Plasma Gun #LaB₆

참고문헌 (10)

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1. [학술지(정기간행물)] - J. M. Lafferty / 1951 / Boride Cathodes / J. Appl. Phys 22 (3) : 299 ~ 309

2. [학술지(정기간행물)] - A. N. Broers / 1969 / Some experimental and estimated characteristics of the lanthanum hexaboride rod cathode electron gun / J. Phys. E2 2 : 273 ~ 276

3. [학술지(정기간행물)] - D. M. Goebel / 1978 / Lanthanum hexaboride hollow cathode for dense plasma production / Rev. Sci. Instrum 49 (4) : 469 ~ 472

4. [학술지(정기간행물)] - D. M. Goebel / 1985 / Large-area lanthanum hexaboride electron emitter / Rev. Sci. Instrum 56 (9) : 1717 ~ 1722

5. [학술지(정기간행물)] - Barankova, H. / 2006 / Hollow cathode and hybrid plasma processing / Vacuum 80 (7) : 688 ~ 692

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이 논문의 저자 정보

최영욱

소속기관 안산 한국전기연구원

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 의약학 > 임상의학 > 방사선과학

논문수 48 이용수 1,743

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