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HOLLOW CATHODE DISCHARGE의 방전 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1989 .07
Hollow Cathode Discharge를 이용한 코팅/플라즈마 질화 복합 공정
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
Etching Characteristics and Mechanism of Low Temperature Deposited Silicon Nitride Film Using Inductively Coupled CH2F2/O2/Ar Plasma
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
속이 빈 원통형음극 방전의 전압-전류 곡선에서음 저항 영역 관찰
전기전자재료학회논문지
2005 .01
Changes in the Optogalvanic Signal Amplitude in a Hollow Cathode Discharge
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2009 .01
PLASMA-SULFNITRIDING USING HOLLOW CATHODE DISCHARGE
한국표면공학회지
1996 .10
태양전지 제작을 위한 Hollow Cathode Plasma System의 실리콘 건식식각에 관한 연구
전기학회논문지 C
2004 .02
Large Scale Application of Highly Efficient Inner Nitriding Technique by Hollow Cathode Discharge
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
지하수 조사에서 환경추적자로서의 $SF_6$의 적용
한국지하수토양환경학회 학술발표회
2003 .01
Hollow Cathode Discharge의 특성과 이를 이용한 초경 절삭 공구의 TiN코팅
전기학회논문지
1991 .09
할로우 캐소드 방전에 의한 금속소결부품의 질화처리에 관한 연구
열처리공학회지
2012 .01
이온 플레이팅용 장수명 플라즈마 건 장치의 개발
전기학회논문지
2008 .01
High-Density Hollow Cathode Plasma Etching for Field Emission Display Applications
Journal of information display
2001 .01
방전 플라스마에 의한 CFC-12($CCl_2F_2$)의 분해
한국안전학회지
1999 .01
Radio Frequency Multi-Hollow Cathode 플라즈마 시스템을 이용한 대면적 블랙 실리콘 태양전지에 관한 연구
전기학회논문지 C
2003 .11
광원을 위한 AC구동 유전체장벽 미세공음극 구조와 상한 pd 제한조건
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2005 .05
Synthesis of Poly(arylene ether amine)s through Nucleophilic Aromatic Substitution Reaction (SNAr)
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2004 .04
Cold hollow cathode 방식의 고밀도 이온소스에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .11
RuO$_2$ 하부전극 상에 증착된 BST박막의 $O_2$/Ar비 변호에 따른 전기적 특성 고찰
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
Microstructure and surface hardening of sintered FeAl-based alloys by ion nitriding under hollow cathode discharge plasma
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
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