웨이퍼 렌즈를 이용한 소형전자빔 리소장치 개발

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2011 .04

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

전자빔의 파라미터에 따른 노광특성 분석

오승훈 ,  김재구 ,  최두선 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2009 .06

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

전자빔 리소그래피에서의 근접효과 보정

오세규 ,  김승재 ,  정광오 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2009 .05

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

전자 빔 리소그래피를 이용한 나노 소자 제작

박수연 ,  이승우 ,  이재종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

Electron-Beam Lithography를 사용한 Sub-0.1㎛ T-Gate 제작에 관한 연구 ( Sub-0.1㎛ T-Gate Fabrication for Monolithic Microwave Integrated Circuits by Electron-Beam Lithography )

이수용 ,  신두식 ,  오재응 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

전자빔 가공장비용 소형 전자빔칼럼개발

강은구 ,  김진석 ,  김한수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

서브 미크론의 패턴으로 구성된 고효율 회절 렌즈 몰드 제작

우도균 ,  하네 카즈히로 ,  이선규

대한기계학회 논문집 A권

2010 .11

소형 전자빔 칼럼내 전자빔 거동 해석

홍성철 ,  인재준 ,  이응기

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .11

다중빔 리소그래피를 위한 초소형 컬럼의 전자빔 광학 해석에 관한 연구

이응기

반도체및디스플레이장비학회지

2009 .01

저에너지 전자빔 리소그라피 공정용 소형 전자빔 칼럼 개발

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing

함영목 ,  이원규 ,  김수환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

전자빔 리소그래피에서의 근접효과 보정을 이용한 패턴 제작에 관한 연구

오세규 ,  김동환 ,  김승재

반도체및디스플레이장비학회지

2009 .01

전자빔 가공기용 자기 렌즈의 자기장 제어구조 설계

노승국 ,  이찬홍 ,  백영종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2004 .10

전자-빔 Lithography 근접효과에 대한 노출강도 분포의 최적화법 ( Optimization of EID Function for Proximity Effect in Electron Beam Lithography )

손상희 ,  곽계달

전자공학회지

1985 .09

저전압 가속 전자빔 응용 노광 특성

김재구 ,  오승훈 ,  조성학 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .11

E-beam lithography 를 이용한 0.1μm NMODFET 제작 ( The Fabrication of the 0.1μm NMOSFET by E-beam Lithography )

유상기 ,  김여환 ,  전국진 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .01

마이크로 전자빔 시스템을 위한 전자광학렌즈의 제작에 의한 나노 패턴 형성 ( Nano-scale pattern delineation by fabrication of electron-optical lens for micro E-beam system )

이용재 ,  박정영 ,  전국진 외 1명

전자공학회논문지-D

1998 .09