리니어모터 스테이지 편요오차 보상장치 제어

이승현 ,  강민식

한국소음진동공학회논문집

2008 .10

X-Y 스테이지를 위한 초음파 리니어 모터의 설계

김태열 ,  김범진 ,  박태곤 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2000 .04

Experimental Study on an Active Reaction Force Compensation Mechanism for Linear Motor Motion Stage

DucCanh Nguyen ,  K. J. Hwang ,  H. J. Ahn

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

리니어 스테이지 위치제어를 위한 선형 2차 비용함수 기반의 슬라이딩 모드 제어

박태동 ,  박기헌

대한전자공학회 학술대회

2009 .07

리니어모터 스테이지 진직도 보상 제어

강민식 ,  최정덕

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

리니어 유도 모터로 구동되는 공기 베어링 스테이지

정광석 ,  김문수

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .05

데드존 보상기를 이용한 2 축 초음파 리니어 모터 시스템 제어

이동진 ,  이선규

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .10

Sliding Mode Control based on Linear Quadratic Cost Function for Position Control of Linear Stage

박태동 ,  박기헌

대한전자공학회 학술대회

2009 .07

리니어 모터를 이용한 척킹 컴플라이언스 보상 ( Chucking Compliance Compensation by Using Linear Motor )

이선규 ,  이진호

대한기계학회 논문집 A권

2002 .01

자기예압 공기베어링 스테이지의 3 자유도 운동오차 측정 및 능동 보정

노승국 ,  김수현 ,  곽윤근 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2009 .02

An adjustable passive RFC (reaction force compensation) mechanism for a linear motor motion stage

H. J. Ahn ,  K. D. Hoang

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

선형모터 스테이지의 반능동 반발력 보상 장치

안형준 ,  응웬덕칸

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .05

자기부상 stage 구동 리니어 모터의 설계 및 특성해석

강규홍 ,  안호진 ,  홍정표 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .10

리니어 모터를 이용한 척킹 컴플라이언스 보상 기구의 개발

이진호 ,  이선규

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1999 .11

강인 제어 기법을 이용한 리니어 모터의 위치 제어 ( Position Control of Linear Motor Using Robust Control Techniques )

이세한 ,  송재복

대한기계학회 춘추학술대회

1999 .01

해석적 방법을 통한 X-Y 리니어 모터의 특성해석에 관한 연구

이동엽 ,  황예 ,  한광규 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .10

리니어모터 스테이지 진직도 향상을 위한 서보 시스템 개발

강민식 ,  최정덕

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2004 .10

리니어 모터 소음 저감

홍도관 ,  우병철 ,  조국희 외 2명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2015 .04

리니어펄스모터 추진 제어 알고리즘 연구

최재혁 ,  김기현 ,  목형수

전력전자학회 학술대회 논문집

2015 .07

비선형 시뮬레이션에 의한 리니어 펄스모터의 특성해석

이제회 ,  허육렬

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07