메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Ki-Young Jung (경성대학교) Hyuk-Moon Kwon (경성대학교) Jin-Woo Ahn Dong-Hoon Lee (교육과학기술부) Won-Zoo Park (영남대학교) Youl-Moon Sung (경성대학교)
저널정보
한국조명·전기설비학회 조명·전기설비학회논문지 Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers Vol.23 No.7
발행연도
2009.7
수록면
8 - 13 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) is commonly used for Carbon nanotubes (CNTs) fabrication, and the process can easily be applied to industrial production lines. In this works, we developed novel magnetized radio frequency PECVD system for one line process of CNTs fabrication for charge storable electrode application. The system incorporates aspects of physical and chemical vapor deposition using capacitive coupled RF plasma and magnetic confinement coils. Using this magnetized RF-PECVD system, we firstly deposited Fe layer (about 200[nm]) on Si substrate by sputter method at the temperature of 300[℃] and hence prepared CNTs on the Fe catalyst layer and investigated fundamental properties by scanning electron microscopy (SEM) and Raman spectroscopy (RS). High-density, aligned CNTs can be grown on Fe/Si substrates at the temperature of 600[℃] or less.
#Plasma enhanced chemical vapor deposition #Carbon nanotubes #RF plasma #Fe catalyst

목차

Abstract
1. Introduction
2. System geometry and description
3. Experimental procedure
4. Results and discussion
5. Summary
Acknowledgements
References
Biography

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

위안부 합의 100일, 한일관계는 어디로
손열 EAI 논평 2016 .04
파라미터 보상기를 가지는 비대칭 SRM의 센서리스 속도제어
임근민 ,  안진우 ,  이동희 전력전자학회논문지 2012 .06
비선형 모델기반 SRM의 고효율 직접 순시토크 제어
安珍雨 전기학회논문지 2007 .06
마이크로 콘트롤러기반의 고역률형 단상 SRM 구동
안진우 ,  이진국 전력전자학회논문지 2006 .02
CNT/CFRP 복합재료의 제조 및 내마모성 연구
김상진 ,  왕일기 ,  이동우 외 2명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2013 .05

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-565-018635944