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Abstract
1. 서론
2. 실험방법 및 측정
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
저자소개
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2계 미분기를 이용한 자화플라즈마의 전자에너지 분포함수의 측정에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .07
자화 플라즈마의 파라메타 측정용 Active 회로 설계 및 응용에 관한 연구 : 전자에너지 분포함수의 측정을 중심으로
전기학회논문지
1996 .10
표면 처리용 자화 Plasma 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1992 .07
자화플라즈마 파라메타 측정을 위한 고속 푸르브 구동회로 제작 및 응용에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .07
자화된 플라즈마의 특성 및 식각에의 응용
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .11
자화된 유도 결합 열 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
1993 .04
플라즈마 쉬스 (Sheath) 를 이용한 이온 주입법
한국표면공학회지
1990 .03
이온유체방정식을 이용한 Plasma Sheath 시변 해석
전기학회논문지
2007 .12
직류 열 플라즈마의 발생 및 그 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1989 .11
그리드를 장착한 DC 마그네트론 플라즈마의 플라즈마 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
상압플라즈마의 응용 현황
기계와 재료
1997 .01
Ar 가스압력과 RF 전력변화 (13.56㎒)에 따른 유도결합형 플라즈마의 광학적 E-H모드변환 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .07
직류 열 플라즈마의 발생 및 그 특성에 관한 연구
전기학회논문지
1990 .11
상압 플라즈마의 생성과 응용
인포메이션 디스플레이
2014 .01
유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
이온에너지분석에 의한 ECR 플라즈마의 특성및 식각특성 연구
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
이온에너지분석에 의한 Ecr 플라즈마의 특성 및 식각특성 연구 ( A Study on the Properties of Ecr Plasma and Its Etching Characteristics by Ion Energy Analysis )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
자화된 평판형 유도 결합 플라즈마의 특성 및 건식 식각에의 응용
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
흑색종 세포에 대한 플라즈마와 전기장의 효과 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
Langmuir Probe를 이용한 유도결합형 플라즈마의 측정
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .07
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