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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 대한전기학회 전기물성·응용부문회 2006 추계학술대회 논문집
발행연도
2006.10
수록면
71 - 72 (2page)

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플라스틱 기판 위에 유도 결합 플라즈마 화학적 기상 증착장치 (Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition, ICP-CVD) 를 사용하여 실리콘 산화막 (SiO₂)을 증착하고, 엑시머레이저 어닐링 (Excimer Laser Annealing, ELA) 과 N₂O 플라즈마 전처리를 통해, 전기용량-전압(Capacitance-Voltage, C-V) 특성과 항복 전압장 (Breakdown Voltage Field)과 같은 전기적 특성을 개선시켰다. 에너지 밀도 250 mJ/㎠의 엑시머 레이저 ... 전체 초록 보기

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