엑시머 레이져 어닐링을 이용한 극히 얕은 N⁺/P 접합 형성

정은식; 배지철; 이용재

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정은식 배지철 이용재

저널정보: 한국통신학회 한국통신학회 학술대회논문집 한국통신학회 종합 학술 발표회 논문집 (추계) 2000 下

발행연도: 2000.11

수록면: 764 - 767 (4page)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2014-560-003061109

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대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

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AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
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	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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