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혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
슬러리 분산 및 pH가 Oxide CMP에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
슬러리 분산 및 pH가 Oxide CMP에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
슬러리 분산 및 pH가 Oxide CMP에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
MAS (Mixed Abrasive Slurry)가 Metal CMP에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
산화망간이 첨가된 혼합 연마제 실리카 슬러리의 산화막 CMP 특성
전기전자학회논문지
2019 .12
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
실리카 슬러리의 희석과 연마제의 첨가가 CMP 특성에 미치는 영향
전기전자재료학회논문지
2002 .01
세리아 연마제 첨가량에 따른 산화막 CMP 특성 고찰
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
희석된 혼합연마 슬러리의 Cu CMP 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .10
The effects of particle concentration on oxide CMP with mixed abrasive slurry
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .05
MAS를 사용한 CMP 특성 개선에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .06
탈이온수로 희석된 실리카 슬러리에 알루미나 연마제가 첨가된 혼합 연마제 슬러리의 CMP 특성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
ZrO₂-DSS의 CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
실리카 연마제가 첨가된 재활용 슬러리를 사용한 2단계 CMP 특성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
연마 입자 크기가 사파이어 CMP에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .10
SiO₂/CeO₂ 혼합 연마 슬러리가 CMP 연마 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .05
CMP 공정에서 나노 연마입자에 의한 박막표면 스크래치 발생 원인 규명에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .05
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