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연마 입자 크기가 사파이어 CMP에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .10
산화막 CMP에서 세리아 연마입자의 마찰특성
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2008 .05
The effects of particle concentration on oxide CMP with mixed abrasive slurry
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .05
세리아 연마제 첨가량에 따른 산화막 CMP 특성 고찰
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
희석된 혼합연마 슬러리의 Cu CMP 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .10
실리카 슬러리의 희석과 연마제의 첨가가 CMP 특성에 미치는 영향
전기전자재료학회논문지
2002 .01
실리카 연마제가 첨가된 재활용 슬러리를 사용한 2단계 CMP 특성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
연마입자 크기가 CMP 공정의 연마균일도에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2004 .11
실리카 슬러리의 에이징 효과 및 산화막 CMP 특성
전기전자재료학회논문지
2004 .01
탈이온수로 희석된 실리카 슬러리에 알루미나 연마제가 첨가된 혼합 연마제 슬러리의 CMP 특성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향
전기전자재료학회논문지
2004 .01
연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 평가
한국재료학회지
2006 .01
MAS (Mixed Abrasive Slurry)가 Metal CMP에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
단분산 세리아 입자의 화학적 기계연마 특성에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2009 .06
SiO₂/CeO₂ 혼합 연마 슬러리가 CMP 연마 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .05
MnO₂ 연마제를 혼합한 Mixed Abraive Slurry (MAS)의 CMP 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
2018 .12
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