MEMS 응용을 위한 Ar⁺ 이온 레이저에 의한 단결정/다결정 실리콘 식각 특성

李賢基 ,  韓承㞰 ,  朴政浩 외 1명

전기학회논문지 C

1999 .05

Laser CVD에 의한 poly-Si 막의 퇴적 및 Laser etching 특성

권경환 ,  김영훈 ,  신상우 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

$Ar^{+}$ 주입 Si 단결정의 미세구조

이경재 ,  임영언 ,  김광일 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

The Characteristics of Poly-Si Films Deposited by Laser CVD and Laser Etching

김영훈 ,  권경환 ,  김태훈 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

Laser Annealed Poly-Si TFT Using Ion Doped Layer

이경하 ,  송교준 ,  김재각 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

N2H2-H2O용액의 { 100 } Si에 대한 최적식각조건의 설정과 전기화학적 식각에의 응용 ( Establishment of Optimal { 100 } Si Etching Condition for N2H4-H2O Solutions and Application to Electrochemical Etching )

주병권 ,  이윤희 ,  김형곤 외 1명

전자공학회논문지

1989 .11

E-ION

M. Roegie ,  s

Lubricants Symposium

2004 .09

플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Low-angle forward-reflected 중성빔 식각장치를 이용한 Si 식각에 관한 연구

민경석 ,  박병재 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .11

단결정 Si 기판의 결정 의존성 식각에 의한 Knife형 Si tip array의 제조

정유호 ,  고창기 ,  김철주 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

LASER

박병철

전자공학회지

1969 .11

Bosch 공정에서 Si 식각속도와 식각프로파일에 대한 Ar 첨가의 영향

지정민 ,  조성운 ,  김창구

화학공학

2013 .01

Fabrication of the Laser Annealed Poly-Si TFT with a Vertical a-Si : H off-Set Layer

이경하 ,  임우영 ,  박종갑 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Characteristics of Counter-Doping using ph3 and B2H6 ion Source Gases in Non-Mass Separated ion Doping on Excimer Laser Annealed Poly-Si Film

양준영 ,  최도욱 ,  문대규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Reverse annealing of $P^+/B^+$ ion shower doped poly-Si

Jin ,  Beop-Jong ,  Hong 외 3명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2006 .01

Effect of $O_2$ or $NF_3$ plasma treatments on contaminated silicon surface due to $CHF_{3}/C_{2}F_{6}$ reactive ion etching

박형호 ,  권광호 ,  곽병화 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01