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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 실험결과 및 고찰
3. 결론
[참고문헌]
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유리로 패키징된 다공질 실리콘 다이어프램의 PL특성
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2001 .07
나노 다공질 실리콘 다이어프램에 캐리어 주입을 위한 전극 형성 및 응용
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2002 .11
실리콘 Diaphragm의 일괄 제조공정 연구 ( Study on the Batch Fabrication of Silicon Diaphragms )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
다이어프램 형상이 레귤레이터 제어 압력 특성에 미치는 영향
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2017 .11
다공질 실리콘의 형성과 특성에 관한 연구
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1988 .07
다공질 실리콘의 형성과 특성에 관한 연구 ( A Study on the Formation and Properties of Porous Silicon )
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1988 .07
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대한전자공학회 학술대회
1991 .01
다공질 실리콘 형성법을 이용한 실리콘 미세기계구조의 제조 ( Fabrication of Silicon Micromechanical Structures using Porous Silicon Technique )
대한전자공학회 학술대회
1991 .01
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대한기계학회 춘추학술대회
2008 .06
P+ 실리콘 박막을 이용한 폴리실리콘 압저항 가속도계의 제작 및 측정
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1996 .07
LDPE 필름으로 코팅된 다공질 실리콘 다이어프램을 이용한 탄산칼륨 용액내의 CO₃²⁻ 이온농도의 측정
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
실리콘 Diaphragm의 일괄 제조공정을 위한 Microscopy Study ( Microscopy Study for the Batch Fabrication of Silicon Diaphragms )
전자공학회논문지-A
1992 .01
다공질 실리콘의 열산화 ( Thermal Oxidation of Porous Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1990 .07
실리콘 박막을 이용한 마이크로펌프의 제작 및 성능시험
전기학회논문지
1997 .07
실리콘의 다공질화를 이용한 실리콘 전계방출 소자의 제작
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
Fabrication of highly ordered macroporous films with hierarchical structure
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2009 .04
다공질 실리콘 : 화학 센서로써의 응용
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
마이크로 스피커 다이어프램의 진동해석
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2005 .05
Macroporous structure for energy devices
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2011 .04
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