Development of Micro/Nano Universal Testing Machine using a Piezoelectric Ceramic Actuator

권현규; 최성대

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 권현규 (금오공과대학교) 최성대 (금오공과대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2005년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2005.4

수록면: 29 - 33 (5page)

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Micro/nano MUTM(Miniature Universal Testing Machines) are becoming increasingly popular for testing the mechanical properties of MEMS materials, metal thin films, and micro-molecule materials. And new miniature testing machines that can perform in-process measurement in SEM, TEM, and SPM are also needed. In this paper, new micro/nano MUTMs with a precision positioning system that can be used in SEM, TEM, and SPM have been proposed. Three type precision actuators are used in fine positioning system. One is the bimorph type PZT actuator, and the another is the multilayer type(inchworm) and the other is the nano motor. Coarse positioning is implemented by step motor. The size, load output, and displacement output of bimorph type MUTM are respectively 109×64×22(㎜), about 35g, and 0.4 ㎜. Multilayer type MUTM has the size of 60×46×27(㎜) and load output of 0.5 ㎏. And the displacement output is controlled with the block digital form. The results of the analysis and basic properties of the three types positioning system, and micro/nano MUTMs are presented in this paper. In addition, the experiment results of in-process measurement during tensile load in SEM and AFM are showed, too.

#Miniature Universal Testing Machines(소형 만능재료 시험기) #Birmorph type PZT(바이몰프 타입 압전세라믹) #Nano Motor(나노 모터) #AFM(원자간력 현미경)

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