지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.7
- 수록면
- 1,569 - 1,570 (2page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
For the fabrication of the probe tip with MEMS technology, the electroplating technology is essential. The selective releasing method of electroplated layer from substrate is a key element in the manufacture of the MEMS probe tip. In this paper, the characteristics of the releasing solution with excellent selectivity between the seed lay ... 전체 초록 보기
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
MEMS 기술을 이용한 프로브 카드의 탐침 제작
제어로봇시스템학회 논문지
2008 .04
-
이중 로듐 층을 갖는 멤스 프로브 팁의 특성
한국표면공학회지
2012 .04
-
신뢰성을 갖는 MEMS 프로브 팁의 설계 및 특성평가
대한기계학회 춘추학술대회
2007 .05
-
Fabrication and Characterization of Silicon Probe Tip for Vertical Probe Card Using MEMS Technology
KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
2004 .08
-
Dip-pen nanolithography를 위한 이중 팁을 가진 질화규소 프로브의 설계 및 제조
한국표면공학회지
2014 .12
-
Best practice in innovative electroplating plants and processes : Research and development for industrial electroplating
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
-
미세 피치를 갖는 MEMS 프로브 팁의 설계 및 기계적 특성 평가
한국산학기술학회 논문지
2010 .04
-
유한 요소법을 이용한 Probe tip 의 최적 설계
대한기계학회 춘추학술대회
2011 .11
-
실험 계획법을 이용한 C형 Probe tip의 최적 설계
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .02
-
전기도금 지그설계 및 성능평가
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2009 .05
-
실험 계획법을 이용한 프루브 팁의 설계
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .06
-
Optimum growth condition and electrical properties of CuGa0.5In0.5Se₂:Co(0.5 wt %) single crystal thin film for solar cell using hot wall epitaxy method
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2017 .04
-
The stoichiometric investigation of chlorine ion inclusion in CH₃NH₃PbI3-xClx perovskite solar cell via PbI1-xClx layer
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2014 .10
-
반도체 칩 검사용 MEMS Probe tip의 전산 설계 및 maskless lithography를 이용한 패턴 제작
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2013 .04
-
수직형 MEMS 프로브 팁의 신뢰성 설계 및 전기적 특성평가
신뢰성응용연구
2007 .03
-
마이크로 프로브 팁의 피로 특성 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2009 .04
-
Characterization of Electroplated Cu Thin Films on Electron Beam Evaporated Cu Seed Layer
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
-
Effect of Temperature on the Composition and Corrosion Resistance of Electroplated Fe-Ni-Cr Layers
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
-
Cu Seed Layer의 열처리에 따른 전해동도금 전착속도 개선
한국재료학회지
2014 .01
-
초음파를 이용한 초임계 이산화탄소 에멀젼내 Ni 전해도금
한국표면공학회지
2004 .12
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
단일 합금타겟을 이용한 마크네트론 스퍼터링 공정으로 증착된 MoN-Cu 박막
이한찬
,
문경일
,
신백균
한국표면공학회지
2016
.08
MEMS 기술을 이용한 프로브 카드의 탐침 제작
이근우
,
김창교
제어로봇시스템학회 논문지
2008
.04
MEMS probe card용 마이크로 팁 공정 연구
박창모
,
한명수
,
신광수
외 3명
한국진공학회 학술발표회초록집
2009
.08
스퍼터링 조건변화에 따른 Ni/Cr/Si 박막의 전기적 특성
李鵬周
,
朴球範
,
金昞秀
외 1명
전기학회논문지 P
2003
.06
슬러리 물질 선택비에 따른 MEMS CMP에 관한 연구
박성민
,
정석훈
,
김형재
외 1명
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2006
.06
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-560-003663481