Low Temperature PECVD for SiOx Thin Film Encapsulation

Hyung June Ahn ,  Sang Heon Yong ,  Sun Jung Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

A study for the hybrid low-k polymer thin films by PECVD and their electrical and mechanical properties

배인섭 ,  조상진 ,  부진효

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Characteristics of SiOx thin films deposited by atmospheric pressure chemical vapor deposition using a double discharge system

박재범 ,  길엘리 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Strong 380㎚ ultraviolet photoluminescence from SiOx (x＜2)film prepared by PECVD

Sol Lee ,  Byoungyoul Pa ,  k 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

High quality fast growth nano-crystalline Si film synthesized by UHF assisted HF-PECVD

Youn J. Kim ,  Yoon S. Choi ,  In S. Choi 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Low-temperature remote plasma-enhanced chemical deposition of SiOx thin films on organic substrate

김덕진 ,  황진영 ,  이내응

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

Photoluminescence chracteristics of SiN_x thin film deposited by PECVD at low temperature

Kyungsu Lee ,  Eunkyeom Kim ,  Kyongmin Kim 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Synthesis of SiNx:H films in PECVD using RF/UHF hybrid sources

K. S. Shin ,  B. B. Sahu ,  J. S. Lee 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

세계의 포장 - 배리어 기능 PET보틀 "내면 플라즈마 SiOx 증착"

흑암효

포장계

2015 .01

Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition을 이용한 SiOx 박막 형성

김가영 ,  박재범 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Excellent magnetic properties of Co_52.5Fe_22.5Hf₁₀O₁₅ thin films

Tho Luu Van

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2006 .11

Oxidation Mechanism of Si in the Growth of SiOx Thin Film by Ion Beam Sputter Deposition

Kyung Joong Kim ,  Dae Won Moon ,  Moon-Seung Yang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Electrical properties of HfO_xN_y thin films deposited by PECVD

J.-H. Pa ,  k ,  J.-S. Hyun 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Study on Synthesis and Analysis of Organic-Inorganic Hybrid polymer Thin films by PECVD for Low-k materials

S.-J. Cho ,  I.-S. bae ,  J.-H. Boo

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

SiOx / (FePt, CoPt) / SiOx / Al 다층 박막의 극 Kerr 효과 수치해석

서동우 ,  박용우 ,  류호준 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2003 .06

Control of CNTs density through Co deposition time via PECVD

Byung ho Ha ,  In wha Lee ,  Yong suk Shin 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

Environmental reliability and barrier properties of SiOx, SiNx thin film by roll-to-roll PECVD system

Won Jae Lee ,  Tae-Yeon Cho ,  Sung-Hoon Choa 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature

Jeon G. HAN ,  Jun S. LEE ,  Bibhuti B. SAHU 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Microstructure and Properties of Er - SiOX Films Synthesized by Ion Beam Assisted Deposition

Gao Song Duan ,  Shu Qing Zheng ,  Xiao Juan Zhang 외 2명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2002 .06

Low temperature synthesis of carbon nanotubes using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition(PECVD)

윤형주 ,  강호석 ,  홍진표 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02