Atomic Layer Deposition of TiO2 Thin Films from Titanium Isopropoxide and Water

이재필 ,  장영진 ,  곽현태 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Electrical and optical properties of Al-doped ZnO films by UV treatment

방지홍 ,  이규상 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Structural and optical properties of Al-doped ZnO thin films

서수영 ,  곽창하 ,  김선효 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Pulsed laser deposition of Al (Ga) doped ZnO films

Ja ,  oslav BRUNCKO ,  And 외 8명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Influence of lithium dopant on Li doped ZnO Films

D.-G. Yoo ,  S. H. Jeong ,  S.-B. Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

The low temperature process design for Al doped ZnO film synthesis on polymer

Chang S. Moon ,  Yun M. Chung ,  Woo S. Jung 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

원자층증착법으로 ZnO:Al과 Al₂O₃를 코팅한 ZnO 나노막대의 광학적 특성

신용호 ,  이수연 ,  김용민

Applied Science and Convergence Technology

2010 .09

투명전극용 Al - doped ZnO film의 전기적 특성

오병윤 ,  명재민

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Deposition and characterization of inorganic thin films by using UV-enhanced Atomic Layer Deposition

정진원 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

UV-enhanced Atomic Layer Deposition of Al2O3 Thin Film

윤관혁 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Deposition and characterization of Ti - Al - N thin films deposited by plasma - assisted atomic layer deposition

Yong Ju Lee ,  Sang-Won Kang

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Characteristics of ZnO thin film by atomic layer deposition for film bulk acoustic resonator

홍철광 ,  정수봉 ,  김수길 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

Photoluminescence of Al - doped ZnO thin film growth on Al₂O₃ (0001) substrate through rapid thermal annealing in N₂ and H₂ atmosphere

Jeong Cho ,  Jong-Bum Nah ,  Min-Seok Oh 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

In - situ XPS study of UHV - Atomic Layer Deposition of TiO₂thin films on Si substrates using titanium isopropoxide and water

이정오 ,  이정욱 ,  곽현태 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Power 및 temperature에 의한 증착률 변화와 Al-doped ZnO의 특성변화에 관한 연구

안시현 ,  박철민 ,  조재현 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Characterization of Al-doped ZnO thin film grown on buffer layer with RF magnetron sputtering method

노영수 ,  이상엽 ,  김태환 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Properties of ZnO : Al thin films prepared by a single target sputtering

Ilsin An ,  Chang-Hyo Lee ,  You-Shin Ahn 외 1명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1998 .10

A Multiple Internal Reflection FTIR Study of the Atomic Layer Deposition of Al₂O₃

박선경 ,  이남수 ,  김윤수

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08