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저압에서의 사일렌과 디사일렌의 열분해 반응에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1995 .12
Process Optimization of PECVD SiO2 Thin Film Using SiH4/O2 Gas Mixture
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Characteristics of Oxide Films Deposited with Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition at Low Temperatures From SiH₄-N₂O
Applied Science and Convergence Technology
1994 .12
평판형 유도결합 플라즈마 장치의 SiH₄/H₂ 방전에 대한 공간 평균 전산모사
Applied Science and Convergence Technology
2009 .11
SiH₄ 희석기체 방전 시 티끌입자가 플라즈마 덮개영역에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
Gas phase diagnostics of high-density SiH₄/H₂ microwave plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
Fluorocarbon 플라즈마 물성 데이터 complete-set의 개발: 수치적 최적화 및 압축
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
플라즈마 전기적 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
450㎜ 웨이퍼 공정용 system의 기하적 구조에 따른 플라즈마 균일도 수치 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
고밀도 유도 결합 플라즈마 장치의 SiH₄/O₂/Ar 방전에 대한 공간 평균 시뮬레이터 개발
Applied Science and Convergence Technology
2008 .09
Characterization of linear microwave plasma based on N2/SiH4/NH3 gases using fluid simulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
고밀도 유도결합 플라즈마 장치의 SiH₄/O₂/Ar 방전에 대한 공간 평균 시뮬레이터 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
실시간 플라즈마 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
컴퓨터 기반 플라즈마 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
드라이 에칭 프로세스의 플라즈마 쉬스 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Deposition Mechanism of Tungsten thin Film in LPCVD System
Applied Science and Convergence Technology
1993 .09
플라즈마-물질 상호작용 연구를 위한 선형 장치 설계 및 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
SiO₂ 원자층 식각에서 인가 전력 공정 윈도우와 플라즈마 활성종 간 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
What do we know about plasma?
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
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