지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
신경망과 측광기를 이용한 플라즈마 감시
정보 및 제어 논문집
2010 .04
신경망과 CUSUM 제어차트를 이용한 플라즈마 색 감시
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .10
CUSUM 제어차트를 이용한 플라즈마 변이의 탐지
대한전기학회 학술대회 논문집
2007 .10
CUSUM 제어차트를 이용한 플라즈마 변이의 탐지
대한전기학회 학술대회 논문집
2007 .10
CUSUM 제어 차트를 이용한 플라즈마 장비 임피이던스 정합망 센서정보의 실시간 감시
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2006 .01
광반사분광기와 시계열 신경망 모델을 이용한 웨이퍼 간 플라즈마 챔버 누출 감시
정보 및 제어 논문집
2010 .04
실시간 플라즈마공정 모니터링을 위한 Self Plasma-Optical Emission Spectroscopy 성능 향상
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
웨이브릿 신경망을 이용한 플라즈마 챔버 누출 모델링
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .10
Actinometric Investigation of In-Situ Optical Emission Spectroscopy Data in SiO2 Plasma Etch
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2012 .01
OES 정보와 신경망을 이용한 플라즈마 식각률 비균일도의 모델링
대한전기학회 학술대회 논문집
2007 .10
Quantitative Analysis for Plasma Etch Modeling Using Optical Emission Spectroscopy : Prediction of Plasma Etch Responses
Industrial Engineering & Management Systems
2015 .12
Optical Emission Spectrometer(OES)를 이용한 강의 청정도 평가 기술
한국통신학회 기타 간행물
2002 .10
A Diagnostic technique for PECVD Chamber Condition Using Optical Emission Spectroscopy
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2013 .05
PECVD Chamber Cleaning End Point Detection (EPD)Using Optical Emission Spectroscopy Data
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2013 .01
OES장치 기반의 플라즈마 특성 변수 제어를 위한 MIMO 시스템 식별 및 검증
한국가스학회 학술대회논문집
2016 .06
Dempster-Shafer 결합 규칙을 이용한 지중전력구 케이블 감시 및 진단 알고리즘 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
2015 .05
Relative Performance of Group CUSUM Charts
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
1996 .04
Dempster-Shafer이론을 이용한 개선된 Rule Ordering방법에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .11
CUSUM-기반 재밍 위치 추정 알고리즘의 바이어스 특성 분석
한국통신학회 학술대회논문집
2018 .01
Sound Source Localization using Dempster-Shafer Theory
한국지능시스템학회 학술발표 논문집
2014 .04
0