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저자정보
박영봉 (부산대학교) 문도민 (실트론연구소) 정해도 (지앤피테크놀로지)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 2010년도 제50회 춘계학술대회
발행연도
2010.6
수록면
103 - 104 (2page)

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#Chemical Mechanical Polishing #Friction #Native oxide #Strock Polishing #Final Polishing

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나종주 ,  조정래 ,  이구현 외 1명 한국트라이볼로지학회 학술대회 2003 .06
코팅된 실리콘웨이퍼의 미소 마찰마멸특성에 관한 연구 ( Investigation of Micro-tribological Properties of Coated Silicon Wafer under Light Load )
차금환 ,  김대은 Tribology and Lubricants 1999 .03

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