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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 패드의 점탄성거동
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
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전기학회논문지 C
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한국트라이볼로지학회 학술대회
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연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구
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2020 .06
패턴 밀도를 고려한 Chemical Mechanical Polishing에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2002 .06
CMP 중 연마 패드와 백킹 필름사이의 상대 점탄성에 따른 압력 불균일도
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
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