CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구

손준규 ,  박성현 ,  이현섭

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .06

CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화

김태경 ,  황현덕 ,  이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구

서장원 ,  윤성훈 ,  정은선 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향

정경우 ,  정선호 ,  이동환 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증

손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

CMP 연마패드 프로파일 형상 제어

손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP

In-Ho Pa ,  k ,  Da-Sol Lee 외 2명

한국기계가공학회지

2018 .12

착화제가 Cu CMP 에 미치는 영향

장수천 ,  정해도 ,  박인호

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

구조화된 표면을 가지는 CMP 연마 패드의 표면 특성이 재료제거율에 미치는 영향

박영욱 ,  정호경 ,  조한철 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .06

제어된 마이크로 패턴 표면 구조를 가지는 CMP 용 연마패드의 장시간 연마 특성에 관한 연구

박영욱 ,  허성녕 ,  신영일 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향

박인호 ,  이다솔 ,  이종우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

광경화 적층제조된 CMP 패드의 연마 특성

김동근 ,  김산하

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .06

CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향

김현진 ,  이기훈 ,  박병준 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

Investigation of Heat Conditioning Method for CMP Pad

전상혁 ,  서장원 ,  김태성

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .04

화학기계적 연마에서 컨디셔너 직경에 따른 연마패드 마모 해석

손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

CMP 중 연마 패드와 백킹 필름사이의 상대 점탄성에 따른 압력 불균일도

박병준 ,  정선호 ,  김현진 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구

김요한 ,  이창우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

Common-path Optical Interferometry for On-site Measurement of CMP Pad Surface

W. J. Choi

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .05

웨이퍼의 대구경화가 Cu CMP 의 연마율에 미치는 영향

유민종 ,  정해도 ,  박인호

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

구조화된 패드의 표면 제어를 통한 세리아 CMP 성능 향상

권리경 ,  김도연 ,  정호경 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11