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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
한원 (KAIST) 조영호 (KAIST)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제36권 제5호
발행연도
2012.5
수록면
487 - 493 (7page)

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본 논문에서는 디스플레이 응용을 위해 동일한 크기를 갖는 공극을 가지며 기계적으로 연동된 미소거울들의 선택적인 구동을 사용하여 RGB 컬러를 재현하는 반사형 간섭 변조기를 제안한다. 기존의 투과형 간섭변조기는 별도의 배면 광원이 필요하기 때문에 전력 소모가 크며, 기존의 반사형 간섭 변조기는 세 가지 RGB 색상을 구현하기 위해서 서로 다른 크기를 갖는 3개의 공극이 필요하기 때문에 공정이 복잡하다. 본 논문에서 제안하는 반사형 간섭 변조기는 간단한 공정을 위해 동일한 크기를 갖는 1개의 공극을 가지며 기계적으로 연동된 미소거울의 디지털 구동을 통하여 세 가지 RGB 색상을 재현한다. 실험에서 제안하는 간섭 변조기는 스위칭 모드 (000), (010), (101)에서 각각 초록, 파랑, 빨강의 색상을 재현하였으며, 측정된 스펙트럼 피크치에서의 파장은 각각 511±5 nm, 478±5 nm, 644±9 nm였고, 대역폭은 각각 60±1 nm, 45±2 nm, 105±4 nm였고, 반사세기는 각각 77±5 %, 73±2 %, 81±5 %이었다. 측정된 검정에 대한 스펙트럼의 반사세기는 27±0 % 이하로 측정되었다. 본 논문에서는 디스플레이 응용을 위해 간단한 공정으로 제작이 가능한 간섭 변조기의 색재현 성능을 실험적으로 검증하였다.
#Interferometric Modulator(간섭 변조기) #Color Display(컬러 디스플레이) #Mechanical Coupling(기계적 연동) #Digital Actuator(디지털 구동기)

목차

초록
Abstract
기호설명
1. 서론
2. 동작 원리 및 설계
3. 제작 공정
4. 측정 결과 및 고찰
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
1. [학술대회논문] - Zhang, X. M. / 1999 / Modeling of the Optical Torsion Micromirror / Proceedings of SPIE 3899 : 109 ~ 116 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Zho, J. P. / 2005 / A Study of Dynamic Characteristics andSimulation of MEMS Torsional Micromirrors / Sensors and Actuators A 120 : 199 ~ 210 google schola 3. [학술대회논문] - Chui, C. / 2007 / The iMoDTM Display: Considerations and Challenges in Fabricating MOEMS on Large Area Glass Substrates / Proceedings of SPIE 6466 : 646609 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Römer, F. / 2003 / Tuning Efficiency and Linewidth of Electrostatically Actuated Multiple Air- Gap Filters / Applied Physics Letters 82 : 176 ~ 178 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Pruessner, M. W. / 2008 / In-Plane Microelectromechanical Resonator with Integrated Fabry-Perot Cavity / Applied Physics Letters 92 : 081101 ~ google schola

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