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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
진원범 (홍익대학교) 박승호 (홍익대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2013년도 학술대회
발행연도
2013.12
수록면
752 - 755 (4page)

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2014

플래쉬 램프를 이용한 디스플레이 기판의 초급속 열처리에 대한 연구 : 도펀트 활성화 공정 및 a-Si 결정화 공정
진원범 기계공학과 2014.01 학위논문

2013

플래쉬 램프를 적용한 비정질 실리콘 결정화 공정에서 유리 기판의 열전달 특성과 열변형
진원범 ,  박승호 대한기계학회 춘추학술대회 2013.12 학술대회자료
대면적 디스플레이용 유리기판의 급속 열처리 공정에서의 thermo-mechanical 변형에 대한 연구
진원범 ,  박승호 한국전산유체공학회 학술대회논문집 2013.10 학술대회자료

초록· 키워드

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Flash Lamp Annealing (FLA) have been considered highly promising process for manufacturing low temperature poly silicon on large scale substrates but it leads to thermal deformation owing to high process temperature. Based on numerical simulations and experiments, this study clarifies the critical mechanisms of thermal deformation during the FLA process of single flashing and full scanning. Thin subsurface region heating up to softening point is shrunk laterally due to stress relaxation, while length of uninfluenced area is unchanged. In conclusion, ‘U’ shaped deformation occurs. In the case of large sized substrates and full scanning process, gravity have a significant effect, so this will cause deformation of different types, resulting in “M” shape or makes central flat zone.
#Flash Lamp Annealing (플래쉬 램프 열처리) #Large Window Display (대면적 디스플레이) #Low Temperature Poly Silicon (저온 다결정 실리콘) #Softening point (연화점) #Thermal Deformation (열변형)

목차

Abstract
1. 서론
2. 온도 분포 계산
3. 조사 횟수에 따른 기판 변형
4. 결론
참고문헌

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