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MEMS 소자용 단결정 실리콘과 다결정 실리콘 마이크로 인장 시편의 제조 및 특성
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
다결정실리콘의 경사식각에 관한 연구 - 제1부 : 실험적 고찰 ( A Study on Taper Etching of Polysilicon - Part 1 : The Experimental Study )
전자공학회논문지
1989 .07
마이크로/나노 실리콘 구조물 제작 공정 및 전사 공정
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2012 .10
소형 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 LCD의 제작
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
다결정 실리콘 / 다결정 실리콘 열산화막의 계면 거칠기를 개선하기 위한 새로운 산화 방법
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
건식 식각에 의한 다결정 실리콘 초미세 패턴 형성에 관한 연구 ( A Study on the Dry Etching Characteristics of Ultra Fine Poly-Silicon Pattern )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
건식 식각에 의한 다결정 실리콘 초미세 패턴 형성에 관한 연구
전기학회논문지
1993 .12
단결정 실리콘의 이방성 습식식각
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2003 .01
마이크로웨이브를 이용해 결정화시킨 다결정실리콘을 이용해 제작한 박막트랜지스터 특성
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화
전기전자재료학회논문지
2012 .01
결정립 식각 기술을 이용한 다결정 실리콘 부착 방지 구조 ( Polysilicon Anti-sticking Structure by Grain Etching Technique )
전자공학회논문지-D
1998 .02
CW CO2 Laser에 의한 다결정 실리콘의 열처리
대한전자공학회 학술대회
1986 .06
다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 Off 전류 저감
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
실리콘 마이크로머시닝을 위한 자기 정렬 특성을 갖는 새로운 실리콘 식각방법과 식각특성분석
전기학회논문지
1996 .10
다결정 실리콘 씨앗층에서의 Hot-wire CVD 방법을 이용한 에피택셜 실리콘 성장에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
이온 주입과 엑시머 레이저 조사에 의해 동시에 제작된 실리콘 산화막과 다결정 실리콘 박막
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
저온 프로세스에 의한 다결정 실리콘 박막 제작
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2005 .11
플라즈마 변수에 의한 불순물주입 다결정실리콘 박막의 식각율 변화 ( Etch Rate Dependence of Differently Doped Poly-Si Films on the Plasma Parameters )
전자공학회논문지
1988 .11
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