건식 식각에 의한 다결정 실리콘 초미세 패턴 형성에 관한 연구

都眩昊 ,  李晳賢 ,  黃琪雄

전기학회논문지

1993 .12

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

실리콘 마이크로머시닝을 위한 자기 정렬 특성을 갖는 새로운 실리콘 식각방법과 식각특성분석

李熙德 ,  金載官 ,  鄭訓周 외 1명

전기학회논문지

1996 .10

초미세 다공질 실리콘 구조의 열적 안정성 연구

박경호 ,  이용일

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

다결정실리콘의 경사식각에 관한 연구 - 제1부 : 실험적 고찰 ( A Study on Taper Etching of Polysilicon - Part 1 : The Experimental Study )

이정규 ,  서동량 ,  변재동

전자공학회논문지

1989 .07

HF Gas에 의한 Silicon Oxide층의 건식식각

김동석 ,  이상철 ,  최상대 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11

마이크로-광스위치 제작을 위한 다결정실리콘 식각 공정의 최적화

조수범 ,  이경철 ,  이민우 외 6명

한국통신학회 기타 간행물

2002 .10

플라즈마 변수에 의한 불순물주입 다결정실리콘 박막의 식각율 변화 ( Etch Rate Dependence of Differently Doped Poly-Si Films on the Plasma Parameters )

박성호 ,  김윤태 ,  김진섭 외 2명

전자공학회논문지

1988 .11

건식 식각기술의 동향분석

박성호 ,  김진섭 ,  강봉구

[ETRI] 전자통신동향분석

1989 .06

실리콘 마이크로 머시닝을 위한 2단계 전기화학적 실리콘 식각 방법 ( Two-Step Electrochemical Silicon Etching Method for Silicon Micromachining )

김재관 ,  이희덕 ,  한철희

대한전자공학회 학술대회

1996 .07

단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

단결정 실리콘의 이방성 식각특성

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

전자빔 묘화를 이용한 초미세 패턴 식각연구

김명제 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

전자빔 묘화를 이용한 초미세 패턴 식각 연구 ( A Study on the Submicron Etching With Electron-Beam Writing )

김명제 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

MEMS 응용을 위한 Ar⁺ 이온 레이저에 의한 단결정/다결정 실리콘 식각 특성

李賢基 ,  韓承㞰 ,  朴政浩 외 1명

전기학회논문지 C

1999 .05

반응성 이온 건식식각에 의해 형성된 실리콘 표면 잔류막의 특성연구

이수민 ,  권광호 ,  이종석 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

반응성 이온 건식식각에 의해 형성된 실리콘 표면 잔류막의 특성연구 ( Charaterization of Si-Surface Residues Caused by Reactive Ion Etching )

이수민 ,  권광호 ,  이종석 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

결정립 식각 기술을 이용한 다결정 실리콘 부착 방지 구조 ( Polysilicon Anti-sticking Structure by Grain Etching Technique )

이용주 ,  박명규 ,  전국진

전자공학회논문지-D

1998 .02