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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.1
- 수록면
- 191 - 196 (6page)
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본 연구에서는 타겟 제작에 드는 비용을 줄이고, 타겟 이용의 효율성을 높이기 위해 기존의 소결된 세라믹 타겟 대신 분말 타겟으로 사용하여 알루미늄 도핑된 산화아연(Aluminum doped zinc oxde; AZO) 박막을 마그네트론 스퍼터법에 의해 제조하고, 스퍼터 압력에 따른 박막 물성을 조사하였다. 유리 기판에 증착된 AZO 박막은 타깃 종류 및 스퍼터 압력에 관계없이 기판에 수직한 c-축 방향으로 우선 성장방위를 갖는 hexagonal 구조로 성장되었다. 스퍼터 압력이 증가함에 따라 이 면 방향으로의 결정성장이 촉진되었다. AZO 박막의 전기적, 광학적 특성은 스퍼터 압력 증가에 따라 향상되었으며, 15m Torr에서 6.5×10?³ Ω-㎝의 최소의 비저항 값을 나타내었다.
목차
요약
ABSTRACT
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅴ. 결론
참고문헌
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Seung Yeop Myong / 2003 / Highly stable and textured hydrogenated ZnO thin films / Appl, Phys, Letters 82 (18) : 3026 ~ 3028
2. [학술지(정기간행물)] - Chris G / 2000 / Hydrogen as a Cause of Doping in Zinc Oxide / The American Physical Society 85 (5) : 1012 ~ 1015
3. [학술대회논문] - Kluth, B. Rech / 1998 / Recent developments of silicon thin film solar cells on glass substrates / 2nd Int. Conf. Coatings on Glass
4. [학술대회논문] - B. Rech / 1997 / Controlled nucleation of thin microcrystalline layers for the recombination junction in a-Si stacked cells / Proc. 26th IEEE Photovoltaic Specialists Conf : 619 ~
5. [학술지(정기간행물)] - T. Minami / 2008 / Substitution of transparent conducting oxide thin films for indium tin oxide transparent electrode applications / Thin Solid Films 516 : 1314 ~ 1321
2. [학술지(정기간행물)] - Chris G / 2000 / Hydrogen as a Cause of Doping in Zinc Oxide / The American Physical Society 85 (5) : 1012 ~ 1015
3. [학술대회논문] - Kluth, B. Rech / 1998 / Recent developments of silicon thin film solar cells on glass substrates / 2nd Int. Conf. Coatings on Glass
4. [학술대회논문] - B. Rech / 1997 / Controlled nucleation of thin microcrystalline layers for the recombination junction in a-Si stacked cells / Proc. 26th IEEE Photovoltaic Specialists Conf : 619 ~
5. [학술지(정기간행물)] - T. Minami / 2008 / Substitution of transparent conducting oxide thin films for indium tin oxide transparent electrode applications / Thin Solid Films 516 : 1314 ~ 1321
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