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한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제17권 제10호
발행연도
2007.10
수록면
967 - 975 (9page)

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A rotordynamic analysis was performed with a dry vacuum pump, which is a major equipment in modern semiconductor and LCD manufacturing processes. The system is composed of screw rotors, lobes picking air, helical gears, driving motor, and support rolling element bearings of rotors and motor. The driving motor-screw rotor system has a rated speed of 6,300 rpm, and was modeled utilizing a rotordynamic FE method for analysis, which was verified through 3-D FE analysis and experimental modal analysis. As loadings on the bearings due to the gear action were significant in the system considered, each resultant bearing load was calculated by considering the generalized forces of the gear action as well as the rotor itself. Each resultant bearing loading was used in calculating each stiffness of rolling element bearings. Design goals are to achieve wide separation margins of lateral and torsional critical speeds, and favorable unbalance responses of the rotor in the operating range. Then, a complex rotordynamic analysis of the system was carried out to evaluate its forward synchronous critical speeds, whirl natural frequencies and mode shapes, unbalance responses under various unbalance locations, and torsional interference diagram. Results show that the entire system is well designed in the operating range. In addition, the procedure of rotordynamic analysis for dry vacuum pump rotor-bearing system was proposed and established.
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1. [학술지(정기간행물)] - Bahen, R. / 1993 / Reliability of Dry Pumps Due to Process Related Adaptation and Prefailure Warning / Vacuum 44 : 709 ~ 717 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Lessard, Philip A. / 2000 / Dry Vacuum Pumps for Semiconductor Processes : Guidelines for Primary Pump Selection / Journal of Vacuum Science and Technology 18 (5) : 1777 ~ 1783 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Shimada, T. / 1990 / Characterization of Noise Generated by a Dry Pump by Using a Vane Vacuum Pump and Noise Reduction / Journal of Noise Control Engineering 35 (3) : 95 ~ 104 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Loffe, I. V. / 1995 / Modeling of a Multistage Claw Rotor Vacuum Pump / Journal of Vacuum Science and Technology 13 (2) : 327 ~ 334 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Ando, K. / 1999 / Grandational Lead Screw Vacuum Pump Development / Journal of Vacuum Science and Technology 17 (5) : 583 ~ 597 google schola

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