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한국신재생에너지학회 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 한국신재생에너지학회 2005년도 제17회 워크샵 및 추계학술대회
발행연도
2005.11
수록면
568 - 571 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

태양전지용 ZnO:Al 투명전도막의 제작
탁성주 ,  강민구 ,  김동환 한국재료학회지 2006.01 학술저널

2005

태양전지용 ZnO:Al 투명 전도막 제작
탁성주 ,  강민구 ,  김동환 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2005.11 학술대회자료

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Highly transparent ZnO films with low resistivity for thin film solar cell applications were fabricated at low temperature by rf magnetron sputtering. Al-doped ZnO films were deposited on glass substrates at a substrate temperature of 200?C. electrical and optical properties of the ZnO:Al films were investigated in terms of the reparation conditions. The transmittance of the ZnO:Al films in the visible range is 90 %. The lowest resistivity of the ZnO:Al films is about 5.7times10^{-4} Omega cm at the Al content of 2.5 wt% with the film thickness of 500 nm. After deposition, the smooth surface of ZnO:Al films were etched in diluted HCl (0.5%) to investigate the variation of electrical and surface morphology properties due to an textured surface.
#태양전지 #rf 마그네트론 스퍼터링 #ZnO(Zinc Oxide) #solar cell #rf magnetron sputtering

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