Thermal Distortion of an X-Ray Mask for Synchrotron Radiation Lithography

J. Yang ,  S. Kawachi ,  E. Toyota

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Synchrotron X-ray Lithography

윤창주

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Enhancement of Alignment Accuracy with a Novel X-ray Mask in Mix-and-Match of Optical and X-ray Lithography

최상수 ,  전영진 ,  Enzo Di Fab 외 6명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

X-ray Lithography Technology

황기웅

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Simple fabrication method of the unique micro/nano structures using synchrotron X-ray

Kanghyun Kim ,  Kyungjin Pa ,  k 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

Laser Produced Soft X-ray Source For X-ray Lithography

김병태

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

X-Ray Lithography With High Power Laser

Hong Jin Kong

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Characterization of Organic Thin Films by Synchrotron X-ray Techniques

신태주 ,  이현휘 ,  이동렬 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .10

Synthesis and characteristics of polyketone-g-sodium styrene sulfonate cation exchange membrane by Co⁶⁰ γ-ray radiation method

정경석 ,  정민호 ,  황택성

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2015 .10

Hierarchical Studies of Biomaterials by Synchrotron X-ray Techniques： X-ray Microscopy, Scattering and Absorption Studies

신태주 ,  윤화식 ,  김민규

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .10

X-Ray Lithography : Recent Progress and Future Developments

Katsumi Suzuki

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Synchrotron Small Angle X-ray Scattering and its applications for polymer science

안형주 ,  김혜지

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2019 .04

X - Ray Lithography Overview and System Design Consideration

유형준

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Small Angle X-Ray Scattering Using Synchrotron Radiation Sources : An Automatic Measurement Control System Based on CCD Camera

X Wang ,  T J Shin ,  I J Lee 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1998 .10

Graphite Sheet를 이용한 X-ray Mask 제작

조진우 ,  홍성제 ,  박순섭 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

High-throughput in-situ Characterization using Synchrotron X-ray Scattering

Hyeong Joo CHOI ,  Young Duck YUN ,  Sangho JEON 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .10

Measurement of two-phase flow characteristics with synchrotron X-ray imaging

Sung Yong Jung ,  Han Wook Pa ,  k 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

Fabrication of X-ray Mask With 0.15um Line width by Additive Method

최상수 ,  김종수 ,  전영진 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

X-선 리소그라피 기술 ( X-ray Lithography Technology )

최영규 ,  양전욱 ,  이재신 외 3명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

X-선 리소그라피 기술 ( X-ray Lithography Technology )

최영규 ,  양전욱 ,  이재신 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01