지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.12
- 수록면
- 486 - 490 (5page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
기존의 MOS 구조를 갖는 온도 센서가 가지는 누설 전류 문제를 해결하기 위하여 제안된 Bi<sub>2</sub>Mg<sub>2/3</sub>Nb<sub>4/3</sub>O<sub>7</sub>(BMNO) 를 이용한 온도센서의 민감도 평가를 저주파 누설 전류 측정을 통하여 수행하였다. 측정결과에서 서로 다른 어닐링 온도 ( 600℃, 700℃, 800℃) 에 따른 서로 다른 패턴의 저주파 노이즈 특성을 얻을 수 있었으며, 그 결과에서 온도 센서 동작을 저해할 수 있는 공정 조건(700℃) 을 선별하는 결과를 얻을 수 있었다. 이와 같은 측정법은 향후 BMNO를 이용한 온도센서의 공정 최적화를 측정하는 방법으로 응용 될 수 있다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (9)
참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - Chih-Yao Wang / 2010 / Characterization of Stacked Hafnium Oxide(HfO2)/ Silicon Dioxide(SiO2)Metal-Oxide-Semiconductor Tunneling Temperature Sensors / Journal of The Electrochemical Society 157 (10) : 324 ~ 328
[학술지(정기간행물)] - Yen-Hao Shih / 2001 / An On-Chip Temperature Sensor by Utilizing a MOS Tunneling Diode / IEEE Electron Device Letters 22 (6) : 299 ~ 301
[학술지(정기간행물)] - Yen-Hao Shih / 2004 / High Sensitive and wide Detecting Range MOS Tunneling Tmperature Sensors for On-Chip Temperature Detection / IEEE Transactions on Electron Devices 51 (9) : 1514 ~ 1521
[학술지(정기간행물)] - B. Ricco / 1998 / Modeling and Simulation of Stress-Induced leakage Current in Ultrathin SiO2 Films / IEEE Transactions on Electron Devices 45 (7) : 1554 ~ 1560
[학술지(정기간행물)] - Jae-Min Lee / 2012 / Enhancement of Temperature Sensitivity for Metal-Insulator-Semiconductor(MIS)Tunneling Temperature Sensors by Using Bi2Mg2/3Nb4/3O7(BMNO)film / Japanese Journal of Applied Physics 51 : 080206 ~ 080208
[학술지(정기간행물)] - Yen-Hao Shih / 2001 / An On-Chip Temperature Sensor by Utilizing a MOS Tunneling Diode / IEEE Electron Device Letters 22 (6) : 299 ~ 301
[학술지(정기간행물)] - Yen-Hao Shih / 2004 / High Sensitive and wide Detecting Range MOS Tunneling Tmperature Sensors for On-Chip Temperature Detection / IEEE Transactions on Electron Devices 51 (9) : 1514 ~ 1521
[학술지(정기간행물)] - B. Ricco / 1998 / Modeling and Simulation of Stress-Induced leakage Current in Ultrathin SiO2 Films / IEEE Transactions on Electron Devices 45 (7) : 1554 ~ 1560
[학술지(정기간행물)] - Jae-Min Lee / 2012 / Enhancement of Temperature Sensitivity for Metal-Insulator-Semiconductor(MIS)Tunneling Temperature Sensors by Using Bi2Mg2/3Nb4/3O7(BMNO)film / Japanese Journal of Applied Physics 51 : 080206 ~ 080208
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
건축물 ANC 기술 적용을 위한 가속도센서 민감성에 대한 연구
공학기술논문지
2020 .01
-
I2C 인터페이스를 위한 양방향 광 인터커넥션 기술에 관한 연구
한국통신학회 학술대회논문집
2016 .06
-
Annealing Temperature에 따른 MoOx 박막의 특성
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2016 .11
-
Ni-25at.%Al 금속간화합물의 연소합성반응에 미치는 사전 Annealing 처리의 영향
Tribology and Lubricants
2021 .04
-
Effect of Annealing Temperature on Electrical Properties and Stability of Si?Zn?Sn?O Thin Film Transistors Under Temperature Stress
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2018 .02
-
Study on Recrystallization Kinetics and Mechanical Properties of Low Carbon Steel During High Temperature Annealing
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2023 .11
-
Improved Resistance Switching Characteristics of BiFeO3 Thin Film by Increasing the Annealing Temperature
NANO
2018 .01
-
단일 센서를 활용한 Open System 능동 소음 제어 방법 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2023 .05
-
Enhancement of thermoelectric properties of MBE grown un-doped ZnO by thermal annealing
Advances in energy research
2015 .01
-
Optimization of annealing capping layer thickness of vertical β-Ga₂O3₃ Schottky barrier diodes for high-temperature oxygen annealing process
대한전자공학회 학술대회
2024 .06
-
Al 소재의 annealing 처리에 따른 반사율 분석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .12
-
Flexible Pressure Sensors Based on Three-dimensional Structure for High Sensitivity
센서학회지
2022 .05
-
가스 및 압력조건에 따른 Annealing이 Tunneling FET의 전기적 특성에 미치는 영향
전기전자학회논문지
2019 .06
-
Implementation of an Integrated Pressure-sensor System Adapted to the Optimum Sensitivity
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2017 .04
-
An Implementation of a Linear-sensitivity Pressure-sensor System
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2018 .04
-
Chemical grown BiOI/Bi9I₂ electrode for supercapacitor applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
-
기능성 필름의 열처리 온도에 따른 특성 분석
전기학회논문지 P
2016 .03
-
Effect of Annealing Temperature on Enhancement of Electrical Performance and Stability of Amorphous SiZnSnO Thin Film Transistors
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2018 .02
-
EFFECT OF SOFT ANNEALING PROCESS ON Cu₂ZnSn(S,Se)₄ THIN FILM SOLAR CELLS SYNTHESIZED VIA HIGH PRESSURE RAPID THERMAL ANNEALING PROCESS
AFORE
2017 .11
-
Study on Chemical Variation of Interface Between Gd-doped UO and Zr Through Annealing With Various Temperatures
한국방사성폐기물학회 학술대회
2018 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2017-056-001389558