Online SEC-Py-GC/MS를 이용한 PMMA-PS copolymer의 조성 분석

장린 ,  이경진 ,  진미경 외 2명

한국분석과학회 학술대회

2018 .05

Contact block copolymer technique을 이용한 실리콘 나노-필라 구조체 제작방법

김두산 ,  김화성 ,  박진우 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Sub-10 nm 수직 배향 DSA etch profile 향상에 대한 연구

오지수 ,  김교운 ,  김희주 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Development of Low Damage Dry Etch to Pattern Sub-10 nm with ACL and High-χ BCP mask

오지수 ,  김교운 ,  신예지 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

A study on the ion beam etching characteristics in the high aspect ratio contact

Ilhyeong LEE ,  Jongkyu KIM ,  Jongsoon PARK 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Controlling Nanostructures of Block Copolymers Under Various Conditions

Jong Yeon Kim ,  Dongsup Song ,  Doo Hyun Baik 외 1명

한국분석과학회 학술대회

2023 .05

A study on the phenomenon of non uniformity at isolate pattern using ion beam etching

Jongsoon PARK ,  Jongkyu KIM ,  Sangkuk KIM 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Resistive Switching characteristics of AlOx - PMMA Blended Thin Film

홍석원 ,  이성영 ,  조원주

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

The Peroxisomal Localization of Hsd17b4 Is Regulated by Its Interaction with Phosphatidylserine

박대호 ,  Sang-Ah Lee ,  Juyeon Lee 외 12명

Molecules and Cells

2021 .01

Controlled morphology of high-χ block copolymers by using multi-step annealing

최영중 ,  서준호 ,  박성민 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Cryogenic Etching in Advanced Electronics Manufacturing: Applications and Challenges

Kyongnam Kim

Applied Science and Convergence Technology

2024 .09

원자층 식각기술

염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

C₃F₆O 가스를 이용한 SiO₂에 대한 식각 특성 분석

김선웅 ,  양경채 ,  이호석 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Selective-area MOVPE Growth of the Ternary III-V Nanowires employing PS/PMMA Diblock Copolymer Nanopatterning

Min Hyeok Jo ,  Honghyuk Kim ,  Jonantan Choi 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Characterization of ultra sharp W tips for field emission electron beam by using etching solution NaOH and KOH

Bishwa Chand ,  a Adhika ,  i 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

식각된 LED의 식각 깊이와 식각 각도가 광 추출 효율에 미치는 영향

권기영 ,  기장근

새물리

2020 .10

Applications of fluid based plasma simulation : dry etch

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Fabrication of Resistive Switching Memory based on Solution Processed AlOx - PMMA Blended Thin Film

신중원 ,  백일진 ,  조원주

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Atomic layer etching of SiO₂ with low-global warming potential C₄H₃F₇O isomers

Yongjae Kim ,  Yebin Lee ,  Seonghyeon Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

3D characterization for the structure of various diblock copolymer films obtained by surface analysis techniques

Minhwa Kang ,  Jihye Lee ,  Yeonhee Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08